[发明专利]激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201510096882.0 | 申请日： | 2015-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN104775161B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 陈卓;陈建荣;任思雨;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C30B30/00 | 分类号： | C30B30/00;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/268 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 温旭 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市仲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光晶化领域，公开了一种激光晶化光路系统，在所述激光晶化光路系统中设置有干涉模块，所述干涉模块包括相互平行的第一全反镜、第二全反镜、及第一半透半反镜，所述第一半透半反镜设于第一全反镜与第二全反镜之间，所述第一全反镜的角度可调节，使用时调节所述第一全反镜的角度使其偏移所述平行方向。采用该技术具有结构设计简单、激光光能利用率高和光强分布稳定的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 晶化光路 系统 低温 多晶 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种激光晶化光路系统，其特征在于，在所述激光晶化光路系统中设置有干涉模块，所述干涉模块包括相互平行的第一全反镜、第二全反镜、及第一半透半反镜，所述第一半透半反镜设于第一全反镜与第二全反镜之间，所述第一全反镜的角度可调节，使用时调节所述第一全反镜的角度使其偏移所述平行方向。
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