[发明专利]一种可调磁浮力重力补偿器有效
| 申请号： | 201510091980.5 | 申请日： | 2015-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN105988304B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 季汉川;陈庆生 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02K33/18 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种可调磁浮力重力补偿器，包括定子、动子、底座和可调机构，定子设置在底座上，动子悬浮在定子的上方；定子包括音圈电机线圈和中心柱磁铁，中心柱磁铁通过可调机构固定在所述底座上；中心柱磁铁由至少2个瓦型磁铁围成；可调机构一端固定在底座上，另一端与瓦型磁铁固定连接，带动瓦型磁铁做定心收放运动，改变中心柱磁铁与动子之间的磁浮力。本发明设置可调机构和中心柱磁铁，通过可调机构带动瓦型磁铁做定心收放运动，以调节中心柱磁铁的内外环半径达到调节基础磁浮力的功能，实现重力补偿器的磁浮重力补偿值在一定范围内机械可调，采用磁浮重力被动补偿与音圈电机主动补偿相结合的方法，增大了重力补偿器的调节范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 浮力 重力 补偿 | ||
【主权项】：
1.一种可调磁浮力重力补偿器，其特征在于：包括定子、动子、底座和可调机构，所述定子设置在所述底座上，所述动子悬浮在所述定子的上方；所述定子包括音圈电机线圈和中心柱磁铁，所述中心柱磁铁通过可调机构固定在所述底座上；所述中心柱磁铁由至少2个瓦型磁铁围成；所述可调机构一端固定在底座上，另一端与所述瓦型磁铁固定连接，带动瓦型磁铁做定心收放运动，改变所述中心柱磁铁与动子之间的磁路，进而改变定子和动子之间的磁浮力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510091980.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：生成测量单元的转换条件的图像形成装置及其控制方法
- 下一篇：一种净化曝光装置
