[发明专利]Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室

摘要

Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室，涉及极紫外(EUV)光源技术。它为了解决常规的放电室结构放电性能和冷却性能不够好的问题。本发明中的主脉冲电源的高压极与预脉冲电源的地极共用一个电极，位于外壳的右端面上，预脉冲高压电极和共用电极均设置在外壳内部，且预脉冲高压电极和共用电极的位置沿轴向可调，使得预脉冲高压电极与主脉冲地电极的距离及共用电极与主脉冲地电极的距离均可调，提高了主脉冲电源和预脉冲电源的放电性能。预脉冲高压电极和共用电极内部设置有水冷系统。本发明具有良好的绝缘性能、放电性能、冷却性能和真空性能，适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。

主权项

Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室，包括主脉冲地电极(1)、预脉冲高压电极(2)、共用电极(3)、外壳(4)和极紫外光源的毛细管(5)；所述的主脉冲地电极(1)为所述的极紫外光源的主脉冲电源的地电极，所述的预脉冲高压电极(2)为所述的极紫外光源的预脉冲电源的高压电极，所述共用电极(3)为极紫外光源的主脉冲电源的高压电极和预脉冲电源的地电极的共用电极(3)；预脉冲高压电极(2)、共用电极(3)和外壳(4)均为圆管状结构，且中心轴重合；外壳(4)的一端封闭，另一端开口；主脉冲地电极(1)、预脉冲高压电极(2)和共用电极(3)的管壁的内、外表面均覆有绝缘层；主脉冲地电极(1)为圆环形，毛细管(5)嵌入在该圆环的中心孔内，主脉冲地电极(1)与毛细管(5)共同覆盖在外壳(4)的开口侧，且连接处密封；共用电极(3)位于外壳(4)内部，预脉冲高压电极(2)位于共用电极(3)内部；外壳(4)上开有用于抽真空的出气孔；外壳(4)上还开有进气孔；外壳(4)内部还设置有冷却系统，用于对预脉冲高压电极(2)和共用电极(3)制冷；其特征在于：共用电极(3)的一端位于外壳(4)内部，另一端穿过外壳(4)的端面，延伸至外壳(4)的外部，且延伸出来的端面封闭；预脉冲高压电极(2)的一端位于共用电极(3)的内部，另一端穿过共用电极(3)的端面，延伸至共用电极(3)的外部，且延伸出来的端面封闭；预脉冲高压电极(2)的外壁与共用电极(3)的内壁之间留有空隙；共用电极(3)的侧壁上设置有一号进水口(7)和一号出水口(8)，所述一号进水口(7)和一号出水口(8)关于共用电极(3)的中心轴对称，且一号进水口(7)和一号出水口(8)均位于外壳(4)的外部；预脉冲高压电极(2)内部还设置有隔板(6)，该隔板(6)将预脉冲高压电极(2)的内部分隔为两个相连通的空间；预脉冲高压电极(2)的侧壁上开有二号进水口(9)和二号出水口(10)，所述二号进水口(9)和二号出水口(10)分别与上述两个空间相连通，且二号进水口(9)和二号出水口(10)均位于共用电极(3)的外部。