[发明专利]一种旋转样品台有效
| 申请号： | 201510077375.2 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104630734B | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 闻益 | 申请（专利权）人： | 北京中科科美科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 鲍相如 |
| 地址： | 100080 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋转样品台，包括公转台，公转台在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与公转轴线相距一定距离设置的至少一个样品台，样品台通过固定于公转台上的第一支撑件支撑，并通过位于公转台上的自转传动件驱动自转，自转传动件通过第二驱动装置驱动；样品台具有用于承载工件的承载部及与自转传动件连接的连接部，自转传动件可轴向伸缩以推拉连接部，并进而推拉样品台相对第一支撑件转动，从而调整承载部的倾斜角度。本发明的旋转样品台不仅能够使工件相对材料源进行公转、自转以及行星式公自转，还能根据工件形状调整承载部的倾斜角度，从而调整工件的某一个或某些面正对材料源，使具有复杂表面的工件也能镀上厚度均匀的膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 样品 | ||
【主权项】：
一种旋转样品台，其特征在于：包括公转台(1)，所述公转台(1)在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与所述公转轴线相距一定距离设置的至少一个样品台(2)，所述样品台(2)通过固定于所述公转台(1)上的第一支撑件(3)支撑，并通过位于所述公转台(1)上的自转传动件(4)驱动自转，所述自转传动件(4)通过第二驱动装置驱动；所述样品台(2)具有用于承载工件的承载部(21)及与所述自转传动件(4)连接的连接部(22)，所述自转传动件(4)可轴向伸缩以推拉所述连接部(22)，并进而推拉所述样品台(2)相对所述第一支撑件(3)转动，从而调整所述承载部(21)的倾斜角度；所述自转传动件(4)包括可轴向伸缩连接的第一自转传动段(41)和第二自转传动段(42)，所述第一自转传动段(41)通过第一联动结构与所述第二驱动装置传动连接，所述第二自转传动段(42)通过万向节(43)与所述连接部(22)固定连接；所述第一自转传动段(41)与所述第二自转传动段(42)互相连接的部分设有可配合插接的柱体(45)/空腔，在所述空腔侧壁上还设有用于将所述柱体(45)定位固定在所述空腔内部的定位结构。
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