[发明专利]一种旋转样品台有效
申请号: | 201510077375.2 | 申请日: | 2015-02-13 |
公开(公告)号: | CN104630734B | 公开(公告)日: | 2017-07-11 |
发明(设计)人: | 闻益 | 申请(专利权)人: | 北京中科科美科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人: | 鲍相如 |
地址: | 100080 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 样品 | ||
1.一种旋转样品台,其特征在于:包括公转台(1),所述公转台(1)在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转,与所述公转轴线相距一定距离设置的至少一个样品台(2),所述样品台(2)通过固定于所述公转台(1)上的第一支撑件(3)支撑,并通过位于所述公转台(1)上的自转传动件(4)驱动自转,所述自转传动件(4)通过第二驱动装置驱动;
所述样品台(2)具有用于承载工件的承载部(21)及与所述自转传动件(4)连接的连接部(22),所述自转传动件(4)可轴向伸缩以推拉所述连接部(22),并进而推拉所述样品台(2)相对所述第一支撑件(3)转动,从而调整所述承载部(21)的倾斜角度;
所述自转传动件(4)包括可轴向伸缩连接的第一自转传动段(41)和第二自转传动段(42),所述第一自转传动段(41)通过第一联动结构与所述第二驱动装置传动连接,所述第二自转传动段(42)通过万向节(43)与所述连接部(22)固定连接;
所述第一自转传动段(41)与所述第二自转传动段(42)互相连接的部分设有可配合插接的柱体(45)/空腔,在所述空腔侧壁上还设有用于将所述柱体(45)定位固定在所述空腔内部的定位结构。
2.根据权利要求1所述的旋转样品台,其特征在于:所述定位结构包括设在所述空腔侧壁上的定位螺纹通孔,以及螺接在所述定位螺纹通孔上并伸入所述空腔内部挤压所述柱体(45),从而将所述柱体(45)定位固定在所述空腔内部的定位螺栓(44)。
3.根据权利要求1所述的旋转样品台,其特征在于:所述柱体(45)为多边形柱体,所述空腔为可与所述柱体(45)配合插接的多边形空腔。
4.根据权利要求1所述的旋转样品台,其特征在于:所述自转传动件(4)通过第二支撑件固定在所述公转台(1)上;所述第二支撑件包括通过轴承可转动套设在所述第一自转传动段(41)或所述第二自转传动段(42)上的固定套(46),设在所述固定套(46)下侧的立柱(47),所述立柱(47)插接于所述公转台(1)上,并通过分别从所述公转台(1)上方和下方与所述立柱(47)螺纹连接的上固定螺母(48)和下固定螺母(49)固定于所述公转台(1)上。
5.根据权利要求1所述的旋转样品台,其特征在于:所述第二驱动装置包括轴线与所述公转轴线重合的自转传动轴(51),和驱动所述自转传动轴(51)绕所述公转轴线旋转的自转电机(52);所述第一联动结构包括设在所述自转传动轴(51)上的第一伞齿轮(511)和设在所述第一自转传动段(41)的一端上且能够与所述第一伞齿轮(511)啮合传动的第二伞齿轮(411)。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的旋转样品台,其特征在于:所述第一支撑件(3)包括通过轴承可转动套设在所述样品台(2)外部的壳体(31),与所述公转台(1)固定连接的支撑柱(32),以及将所述壳体(31)可转动的固定在所述支撑柱(32)上的转动连接件;所述自转传动件(4)轴向伸缩时,能够推拉所述样品台(2)绕所述转动连接件转动。
7.根据权利要求6所述的旋转样品台,其特征在于:所述转动连接件包括设在所述支撑柱(32)上的转轴(331)或转轴孔(332),以及与所述转轴(331)或所述转轴孔(332)相对设在所述壳体(331)上、且能够配合转动连接的转轴孔(332)或转轴(331)。
8.根据权利要求7所述的旋转样品台,其特征在于:所述支撑柱(32)上设有U形固定件(33),所述转轴(331)/转轴孔(332)设在所述U形固定件(33)的两相对侧壁上。
9.根据权利要求6所述的旋转样品台,其特征在于:还包括用于调节所述第一支撑件(3)相对所述公转轴线的距离长短,并进而调节所述样品台(2)相对所述公转轴线的距离长短的调整结构。
10.根据权利要求9所述的旋转样品台,其特征在于:所述调整结构包括沿所述公转台(1)径向开设在所述公转台(1)上、且适于所述支撑柱(32)穿过的长条形通孔(34),和将所述支撑柱(32)固定在所述长条形通孔(34)内的可调固定件。
11.根据权利要求10所述的旋转样品台,其特征在于:所述可调固定件包括分别从所述公转台(1)上方和下方与所述支撑柱(32)螺纹连接的上螺母(341)和下螺母(342)。
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