[发明专利]掩模框架组件及其制造方法有效
| 申请号： | 201510072580.X | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN105401123B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 韩政洹 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了掩模框架组件及其制造方法。本发明包括具有开口部和围绕所述开口部的支承部的框架、在与所述开口部对应的位置包括沉积区域的掩模以及可旋转地设置到所述支承部并且与所述掩模连接的位置固定部。 | ||
| 搜索关键词： | 框架 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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