[发明专利]一种基于光学相位解调的透镜中心厚度测量装置及利用其的测量方法在审
申请号: | 201510072023.8 | 申请日: | 2015-02-12 |
公开(公告)号: | CN104613882A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 孙玉娟;吴迪富;姚红兵;李丽淋;单国云;吴广剑 | 申请(专利权)人: | 江苏宇迪光学股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 卢海洋 |
地址: | 226400 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于光学相位解调的透镜中心厚度测量装置及测量方法,其特征在于,包括激光聚焦光源、分光镜Ⅰ、反射镜Ⅰ、反射镜Ⅱ、分光镜Ⅱ、功率检测仪和计算机,所述激光聚焦光源、分光镜Ⅰ和反射镜Ⅰ处于同一水平直线上,所述分光镜Ⅰ位于激光聚焦光源和反射镜Ⅰ之间,所述反射镜Ⅱ位于分光镜Ⅰ的正下方,所述分光镜Ⅱ位于反射镜Ⅰ的正下方,所述反射镜Ⅱ、分光镜Ⅱ和功率检测仪处于同一水平直线上,所述计算机接收功率检测仪的数据。本发明的优点是:本装置结构简单、成本低、性能可靠,实现非接触检测,提高了检测速度和精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 光学 相位 解调 透镜 中心 厚度 测量 装置 利用 测量方法 | ||
【主权项】:
一种基于光学相位解调的透镜中心厚度测量装置,其特征在于,包括激光聚焦光源、分光镜Ⅰ、反射镜Ⅰ、反射镜Ⅱ、分光镜Ⅱ、功率检测仪和计算机,所述激光聚焦光源、分光镜Ⅰ和反射镜Ⅰ处于同一水平直线上,所述分光镜Ⅰ位于激光聚焦光源和反射镜Ⅰ之间,所述反射镜Ⅱ位于分光镜Ⅰ的正下方,所述分光镜Ⅱ位于反射镜Ⅰ的正下方,所述反射镜Ⅱ、分光镜Ⅱ和功率检测仪处于同一水平直线上,所述计算机接收功率检测仪的数据。
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