[发明专利]连续式物理真空镀膜设备

摘要

本发明公开并提供了一种工件在清洁后开始蒸镀的过程中，不会有再遭污染的疑虑且可以连续批量生产的连续式物理真空镀膜设备。所述连续式物理真空镀膜设备包含具有复数独立之镀膜腔的真空镀膜装置、具有清洁缓冲腔及缓冲真空腔的缓冲真空装置、具有前置准备腔及完成腔的准备装置、传送装置及包括复数闸门的闸门单元，用于连续产制薄膜太阳能电池。生产时，薄膜太阳能电池连续由所述传送装置输送通过所述前置准备腔、具有线性离子源单元的清洁缓冲腔、所述多源蒸镀单元的镀膜腔、缓冲真空腔及完成腔，且所述闸门会被控制于其中一太阳能电池到达时开启、通过时则关闭，以维持各腔的气压，达到无须再耗费抽真空时间以增加产出。

主权项

一种连续式物理真空镀膜设备，连续产制太阳能电池，其包含：一真空镀膜装置，包括具有复数独立的镀膜腔的镀膜室、复数分别设置于所述镀膜腔的多源蒸镀单元及抽引所述镀膜室成适于蒸镀之负压状态的第一抽真空单元，所述多源蒸镀单元具有形成有供蒸镀用的图案的载体、移动所述载体对应定位于其中一预定的太阳能电池的移动件及可移动地对应定位有所述载体的太阳能电池并对所述太阳能电池进行蒸镀的蒸镀件；一缓冲真空装置，包括具有第一入料口和连通所述镀膜室的第一出料口之清洁缓冲腔的前缓冲真空室、具有连通所述镀膜室的第二入料口和第二出料口之缓冲真空腔的后缓冲真空室、设置于所述前缓冲真空室并对位于所述清洁缓冲腔中的其中至少一个太阳能电池可移动地进行离子清洁的清洁单元、分别抽引所述清洁缓冲腔和所述缓冲真空腔成低于大气压力之预定负压状态的第二抽真空单元；一准备装置，包括具有第三入料口和连通所述前缓冲真空室的第一入料口的第三出料口的前置准备腔的入料准备室、具有连通所述后缓冲真空室的第二出料口的第四入料口和第四出料口之完成腔的出料准备室、分别抽引所述前置准备腔和完成腔成低于大气压力之预定负压状态的第三抽真空单元；一传送装置，输送复数太阳能电池依序通过所述第三入料口、所述前置准备腔、所述第三出料口、所述第一入料口、所述清洁缓冲腔、所述第一出料口、所述镀膜腔、所述第二入料口、所述缓冲真空腔、所述第二出料口、所述第四入料口、所述完成腔及所述第四出料口；及一闸门单元，包括复数闸门及控制所述闸门的闸门控制器，所述闸门控制器控制所述闸门分别可开启地封闭所述第三入料口、所述第三出料口和第一入料口、所述第一出料口、所述第二入料口、所述第二入出料口和所述第四入料口及所述第四出料口，且当其中一太阳能电池到达时即令所述一对应的所述闸门开启并在所述太阳能电池通过后即令所述闸门封闭，同时相邻的两闸门不会同时开启；所述第一抽真空单元作动令所述镀膜腔的负压不大于10‑5Pa，所述第二抽真空单元作动令所述清洁缓冲腔和所述缓冲真空腔的负压不大于10‑3Pa，且所述第三抽真空单元作动令所述前置准备腔和所述完成腔的负压不大于10‑1Pa；所述多源蒸镀单元的蒸镀件具有至少二个蒸镀膜料及至少二个分别加热所述蒸镀膜料的加热座。