[发明专利]光学探测器、可装配盖和形状测量设备在审
| 申请号： | 201510065230.0 | 申请日： | 2015-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN104833315A | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 根本贤太郎;山县正意;森内荣介;岩本正 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学探测器、可装配盖和形状测量设备。该光学探测器包括探测器盖，其中在该探测器盖内，安装了具有照射光学系统和接收光学系统的光学系统。向探测器盖的形成与工件相对的相对区域的底面设置用于使光穿过的出射区域和入射区域。该底面形成了从工件所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自出射区域的出射光照射在工件上的位置起、在远离入射区域的方向上反射的面。因此，可以抑制入射到入射区域的二次反射光的量，因此可以抑制接收光分布中的错误值的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 探测器 装配 形状 测量 设备 | ||
【主权项】：
一种光学探测器，包括：探测器盖，其包括：与被测物相对的相对区域；以及出射区域和入射区域，用于使光穿过，其中所述出射区域和所述入射区域设置在所述相对区域中；以及光学系统，其设置在所述探测器盖内，用于经由所述出射区域使光射出，并且还用于经由所述入射区域接收被测物所反射的光，其中，所述探测器盖的至少所述相对区域包括用于使所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自所述出射区域的出射光照射在被测物上的位置起、在远离所述入射区域的方向上反射的面。
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