[发明专利]光学探测器、可装配盖和形状测量设备

权利要求书

1.一种光学探测器，包括：

探测器盖，其包括：

与被测物相对的相对区域；以及

出射区域和入射区域，用于使光穿过，其中所述出射区域和所述入射区域设置在所述相对区域中；以及

光学系统，其设置在所述探测器盖内，用于经由所述出射区域使光射出，并且还用于经由所述入射区域接收被测物所反射的光，

其中，所述探测器盖的至少所述相对区域包括用于使所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自所述出射区域的出射光照射在被测物上的位置起、在远离所述入射区域的方向上反射的面。

2.根据权利要求1所述的光学探测器，其中，

所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的平面，以及

所述面相对于所述光学系统的出射光轴而倾斜。

3.根据权利要求2所述的光学探测器，其中，所述平面相对于所述出射光轴成45°以上且85°以下的角度。

4.根据权利要求1所述的光学探测器，其中，所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的凸面或者是设置在所述出射区域和所述入射区域之间的凸面。

5.根据权利要求1所述的光学探测器，其中，所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的台阶状的面。

6.根据权利要求1所述的光学探测器，其中，还包括可装配盖，所述可装配盖能够相对于所述探测器盖进行装配和拆卸以覆盖所述相对区域，并且所述可装配盖具有用于使所反射的光中沿着镜面反射方向的光在远离所述入射区域的方向上反射的面。

7.一种可装配盖，包括：

安装部，用于连接至探测器盖，所述探测器盖包括与被测物相对的相对区域、以及用于使光穿过的出射区域和入射区域，其中所述出射区域和所述入射区域设置在所述相对区域中；

相对部，其包括：

开口，在所述可装配盖安装在所述探测器盖上以覆盖所述相对区域的状态下，所述开口分别与所述出射区域和所述入射区域相对，从而使得来自所述出射区域的出射光和入射到所述入射区域的测量光穿过；以及

用于使所述被测物所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自所述出射区域的出射光照射在被测物上的位置起、在远离所述入射区域的方向上反射的面。

8.根据权利要求7所述的可装配盖，其中，

所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的平面，以及

所述面相对于所述探测器盖内所设置的光学系统的出射光轴而倾斜，其中所述光学系统经由所述出射区域使光射出，并且经由所述入射区域接收被测物所反射的光。

9.根据权利要求8所述的可装配盖，其中，所述平面相对于所述出射光轴成45°以上且85°以下的角度。

10.根据权利要求7所述的可装配盖，其中，所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的凸面或者是设置在所述出射区域和所述入射区域之间的凸面。

11.根据权利要求7所述的可装配盖，其中，所述面是跨度从所述出射区域至所述入射区域的台阶状的面。

12.一种形状测量设备，包括：

光学探测器，其包括：

探测器盖，其具有与被测物相对的相对区域，并且还具有用于使光穿过的出射区域和入射区域，其中所述出射区域和所述入射区域设置在所述相对区域中；以及

光学系统，其设置在所述探测器盖内，用于经由所述出射区域使光射出，并且还用于经由所述入射区域接收被测物所反射的光；

台，用于承载被测物；以及

测量处理器，用于基于所述光学探测器所获得的信号，来测量放置在所述台上的被测物的形状，

其中，所述探测器盖的至少所述相对区域包括用于使所反射的光中沿着镜面反射方向的光从来自所述出射区域的出射光照射在被测物上的位置起、在远离所述入射区域的方向上反射的面。