[发明专利]光学探测器、可装配盖和形状测量设备

摘要

本发明涉及一种光学探测器、可装配盖和形状测量设备。光学探测器包括探测器盖，其中在该探测器盖内，安装了具有照射光学系统和接收光学系统的光学系统。在探测器盖的形成与工件相对的相对区域的底面设置用于使光穿过的出射区域和入射区域。另外，在探测器盖的底面设置光反射防止结构或漫反射结构。利用反射防止结构来防止从工件反射的光反射离开底面，或者利用漫反射结构使反射光发生漫反射。因此，可以抑制由于二次反射光而导致的在接收光分布中发生错误值。

主权项

一种光学探测器，包括：探测器盖，其包括：与被测物相对的相对区域；以及出射区域和入射区域，用于使光穿过，其中所述出射区域和所述入射区域设置在所述相对区域；光学系统，其设置在所述探测器盖内，用于经由所述出射区域使光射出，并且还用于经由所述入射区域接收被测物反射的光；以及光的反射防止结构和漫反射部的其中一个，其至少设置在所述探测器盖的所述相对区域。