[发明专利]声表面波温度传感器有效
| 申请号： | 201510062494.0 | 申请日： | 2015-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN104677518B | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 周磊;李冬梅;梁圣法;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01K11/22 | 分类号： | G01K11/22 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙)11345 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种声表面波温度传感器，包括压电陶瓷衬底、反射栅和叉指换能器，其特征在于所述叉指换能器采用了切比雪夫窗函数作为加权函数的变迹加权设计。依照本发明的采用切比雪夫窗函数变迹加权的声表面波温度传感器，增强温度传感器对其频率响应特性中的旁瓣的抑制能力，解决器件频率响应中主瓣识别困难的问题，增强了声表面波温度传感器的准确性和实用性，同时具有良好的频率温度特性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 温度传感器 | ||
【主权项】：
一种声表面波温度传感器，包括压电陶瓷衬底、反射栅和叉指换能器，其特征在于：所述叉指换能器采用了切比雪夫窗函数作为加权函数的变迹加权设计，反射栅的侧壁为凹型。
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