[发明专利]一种净化曝光装置

摘要

本发明涉及净化曝光装置，包括净化工作台、置于净化工作台内的曝光机、光刻胶显影液槽、漂洗液槽，净化工作台包括工作腔体、进气腔、排气腔；工作腔体的前端设有隔断低压腔，隔断低压腔具有操作通道，底部与排气腔连通。本发明将曝光光源、光刻胶显影液槽、漂洗液槽，置于净化工作台内部，杜绝了曝光和显影过程中挥发气体对人体的危害；借助净化工作台，工作人员可以在普通环境中进行操作，而不需要专门的无尘室，这大大降低了成本，尤其对于科研单位和教学单位具有重大意义。本发明在隔断低压区内形成负压，工作腔体内的气体和外界大气通过操作通道被吸入，有效防止工作腔体内部气体外泄。

主权项

一种净化曝光装置，包括净化工作台，以及置于该净化工作台内的曝光机、光刻胶显影液槽、漂洗液槽，所述的净化工作台包括工作腔体、进气系统、排气系统，所述进气系统包括位于工作腔体顶部的进气腔，进气腔与工作腔体连接处布置有散流板；所述排气系统包括位于工作腔体下方的排气腔，排气腔的后侧设置有用于和抽气设备连接的排气口；所述工作腔体的前端部设置有隔断低压腔，所述隔断低压腔具有供操作人员伸手进入工作腔体内部的操作通道，所述隔断低压腔的底部与排气腔连通; 所述操作通道的上部设置有挡块，挡块靠近工作腔体一侧设置有朝向工作腔体内侧的第一引流面，挡块靠近操作人员一侧设置有朝向操作人员的第二引流面，所述第一、第二引流面在挡块的最低处相接,呈现倒V型，工作腔体内的气体和外界大气分别在第一、第二引流面的引流作用下形成向下流动的趋势。