[发明专利]一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器有效
| 申请号： | 201510043292.1 | 申请日： | 2015-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN104535228B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 刘益芳;陈丹儿;郑成;蔡建法;王欢;王凌云 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙)35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器，涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板，上基板下表面设有上凹槽，下基板上表面设有下凹槽，上凹槽与下凹槽之间形成空腔；在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层，所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板，可变电容上极板位于平面电感线圈中间，固定电容上极板位于平面电感线圈外部；所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接，平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接；所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线。制备工艺简单，密封性能好，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 上下 互连 电极 lc 无线 无源 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器，其特征在于设有上基板和下基板，上基板下表面设有上凹槽，下基板上表面设有下凹槽，上凹槽与下凹槽之间形成空腔；在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层，所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板，可变电容上极板位于平面电感线圈中间，固定电容上极板位于平面电感线圈外部；所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接，平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接；所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线；所述可变电容上极板与可变电容下极板尺寸相同且位置相对，构成可变电容；所述固定电容上极板与固定电容下极板尺寸相同且位置相对，构成固定电容。
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