[发明专利]基于表面氧化法制备太阳能电池背电极钝化层的工艺

摘要

本专利涉及一种采用表面氧化法制备薄膜太阳能电池背电极钝化层的工艺。这种背电极的特征在于背电极由两种成分组成，其结构包括：缓冲层，为具有较松散结构的Mo薄膜，使电极与衬底形成良好的接触；导电层，为与缓冲层不同结构的Mo薄膜，具有良好的导电性能，用于收集传导吸收层产生的电子；钝化层，为在Mo导电层表面利用表面氧化的技术引入了一层掺杂MoO2的Mo薄层，与吸收层形成良好接触，并保持优良的导电性能，继而提高太阳能电池器件效率。采用表面氧化法制备的背电极钝化层具有易加工，工艺连续以及可操控性强的特点，在未来的太阳能光伏工业领域有着广阔的应用前景。

主权项

一种采用表面氧化法制备的钝化背电极，其特征在于，包括：衬底；缓冲层，该缓冲层制作在衬底上，使电极与衬底形成良好的接触；导电层，该导电层制作在缓冲层上，是收集载流子，导电的主要部分；钝化层，制作在导电层上，通过反应溅射形成氧化物掺杂，与吸收层形成良好接触。