[发明专利]一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器有效
| 申请号： | 201510033587.0 | 申请日： | 2015-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN104617484B | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 马向阳;汪粲星;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;H01S5/042 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器，包括硅衬底，硅衬底的正面自下而上依次设有ZnO薄膜、SiO2薄膜和半透明电极，硅衬底背面设有欧姆接触电极，所述ZnO薄膜和SiO2薄膜之间设有MoO3薄膜。本发明还公开了该电抽运随机激光器的制备方法，包括如下步骤(1)在硅衬底正面采用射频磁控溅射沉积ZnO薄膜；(2)在ZnO薄膜上采用射频磁控溅射沉积MoO3薄膜；(3)在MoO3薄膜上采用溶胶‑凝胶法沉积SiO2薄膜；(4)在SiO2薄膜上溅射半透明电极，在硅衬底背面溅射欧姆接触电极。与现有技术相比，本发明基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器的阈值电压显著降低，光输出功率明显提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 zno 薄膜 抽运 随机 激光器 | ||
【主权项】：
一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器，包括硅衬底，硅衬底的正面自下而上依次设有ZnO薄膜、SiO2薄膜和半透明电极，硅衬底背面设有欧姆接触电极，其特征在于：所述ZnO薄膜和SiO2薄膜之间设有MoO3薄膜。
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