[发明专利]一种钼靶材的制备方法在审
申请号: | 201510030446.3 | 申请日: | 2015-01-22 |
公开(公告)号: | CN104561914A | 公开(公告)日: | 2015-04-29 |
发明(设计)人: | 侯庆龙;邱春霞;豆帆;朱洪维;刘海燕 | 申请(专利权)人: | 烟台希尔德新材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F1/00;B22F3/10;B22F3/16 |
代理公司: | 烟台双联专利事务所(普通合伙) 37225 | 代理人: | 梁翠荣 |
地址: | 264006 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种钼靶材的制备方法,通过引入少量纳米钼粉,不仅提高成型密度,而且提高粉末烧结活性,降低烧结温度;同时采用真空烧结,避免氢气的使用,真空烧结本身即有降低烧结温度的作用,还有一定的提纯作用。整个制备过程工艺简单安全,没有废物排放,属于环保性技术;更重要的是,能耗大幅度降低,提高了生产效率,烧结设备产能提高20%以上。本发明的效果和益处是在制造成本、产品性能、规模化生产、安全和环境友好等方面都展现出显著的竞争优势和利润空间。 | ||
搜索关键词: | 一种 钼靶材 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种钼靶材的制备方法,其特征在于,采用微米钼粉掺杂纳米钼粉为原料。
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