[发明专利]一种光学元件亚表面缺陷检测方法及检测系统

摘要

本发明涉及一种光学元件亚表面缺陷检测方法和检测系统，其中，检测方法包括光纤耦合器对输入的宽带光源进行分路；一路低相干光输入参考臂，被零光程参考面反射，形成参考光，另一路低相干光输入样品臂，进行光程延时处理，通过光纤探头阵列获取信号光；信号光和参考光经光纤耦合进行相干迭加并形成光谱信息；通过样品或光纤探头阵列的移动获取被检测区域的二维或三维光谱信息，重构被检测区域的高分辨图像。检测系统包括宽带光源、光纤耦合器、参考臂、样品臂和探测臂，样品臂包括相连接的光程延时单元和光纤探头阵列。与现有技术相比，本发明能够快速、高分辨显示多空间区域的缺陷结构信息，为光学元件亚表面缺陷检测提供新的途径。

主权项

一种光学元件亚表面缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：1)光纤耦合器对输入的宽带光源进行分路；2)一路低相干光输入参考臂，被零光程参考面反射，形成参考光；3)另一路低相干光输入样品臂，进行光程延时处理，通过光纤探头阵列形成具有不同光程延时量的空间多点并行照明，照射在样品的被检测区域上，并接收该区域反射和后向散射的信号光，所述光程延时处理为：改变光纤耦合器样品臂输出端与各光纤探头间的自由空间距离，实现各光纤探头接收的检测信息相对零光程参考面具有不同的光程延时量；4)所述信号光和参考光经光纤耦合进行相干迭加并形成光谱信息；5)通过样品或光纤探头阵列的移动获取被检测区域的二维或三维光谱信息；6)根据二维或三维光谱信息重构被检测区域的高分辨图像，显示缺陷的形状和分布。