[发明专利]一种以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛树脂为基体的高感光性光刻胶组合物

摘要

本发明公开了一种以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛树脂为基体的高感光性光刻胶组合物的制备方法，属于高分子材料光刻技术领域。既可以解决现有的等离子干法蚀刻胶膜耐热性不足的缺陷，又通过增强感光性能提高曝光效率。本发明通过添加三聚氰胺和腰果酚改性过后的酚醛树脂、感光剂、增感剂、添加剂和溶剂按一定比例调配而成。本发明制备方法简单，体系相容性较好，通过三聚氰胺和腰果酚改性的优点，改善了酚醛树脂的韧性和耐热性，再通过添加一定比份的化学增感剂改善了感光性能，从而同时提高了该款紫外正性光刻胶良好的耐热性和高感光性能，拓宽了该款光刻胶的应用领域。

主权项

一种以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛树脂为基体的高感光性光刻胶的组合物，其特征在于所含组分的各组分的质量分数为：。