[发明专利]一种以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛树脂为基体的高感光性光刻胶组合物

权利要求书

1.一种以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛树脂为基体的高感光性光刻胶的组合物，其特征在于所含组分的各组分的质量分数为：

。

2.一种以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛树脂的光刻胶的组合物，其特征在于其耐热性大于130℃。

3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于所述的以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛树脂由甲醛、苯酚、三聚氰胺、腰果酚和催化剂聚合而成，具体步骤如下：

(1)往装有回流冷凝搅拌温度计装置的三口烧瓶中按比份为1∶1.215∶0.151加入37-40％甲醛水溶液、苯酚和催化剂，搅拌均匀。

(2)搅拌均匀后加热到110℃，再加入比份为0.508、0.741的三聚氰胺和腰果酚搅拌均匀。

(3)待回流反应1.5h后，补加比份为0.117的催化剂，回流反应12h后降温冷却，过滤干燥后得到改性的酚醛树脂。

4.根据权利要求1所述的改性酚醛树脂，其特征在于其结构式中C原子数要小于200。

5.根据权利要求1所述的改性酚醛树脂，其特征在于其软化点大于160℃。

6.根据权利要求1所述的改性酚醛树脂，其特征在于其重均分子量大于7000。

7.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于光活性化合物包括双季戊死醇五丙烯酸酯、双季戊四醇六丙烯酸酯、异戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化异戊四醇四丙烯酸酯中的一种或几种。

8.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于溶剂包括丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亚胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、环戊酮、环己酮中的一种或几种。

9.一种权利要求所述的光刻胶组合物的显影方法，其特征在于包含下述步骤：

(1)将所述光刻胶组合物涂布在晶圆上1.7um的膜厚，在100℃下前烘60s；

(2)在50-250mj/cm²的曝光能量下曝光；

(3)在曝完光的样品置于碱液中显影，经去离子水漂洗得到图案。

10.根据权利要求9所述的显影方法，其特征在于所述的步骤(2)的曝光能量小于120mj/cm²。