[发明专利]用于基板加工的监控方法和监控装置有效
| 申请号： | 201510001898.9 | 申请日： | 2015-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN104656529B | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 姚成宜 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,陈源 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于基板加工的监控方法和监控装置，该监控方法包括S10、检测处于检测工位的每个基板的状态信息，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；S20、根据每个基板的状态信息判断每个基板的状态，并且，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，执行步骤S30；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，执行步骤S40；S30、控制每个基板进入预定工序的后一工序；S40、暂停对不包括所述预定工序信息的基板的加工。本发明可以防止未完成预定工序的基板直接进入后一工序而导致的基板报废等事故，且节省了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 监控 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于基板加工的监控方法，其特征在于，该监控方法包括：S10、检测处于检测工位的每个基板的状态信息，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；S20、根据每个基板的状态信息判断每个基板的状态，并且，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，执行步骤S30；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，执行步骤S40；S30、控制每个基板进入预定工序的后一工序；S40、暂停对不包括所述预定工序信息的基板的加工；步骤S20包括：S21、设置与所述状态信息中每道工序的信息相对应的状态标记；S22、将被检测的基板的所述状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记；S23、将被检测的基板的状态标记与对应于所述预定工序的状态标记对比，当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记一致时，则基板处于已完成预定工序的状态；当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记不一致时，则基板处于未完成预定工序的状态。
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