[发明专利]光学计算装置诊断和处理

摘要

一种示例性方法包括使用多种参考流体对工具执行验证测试，所述工具具有安装于其中的包括一个或多个光学元件的校准后的光学传感器。可获得来自所述校准后的光学传感器的一个或多个工具传感器响应并对其进行预处理，并且可将所述一个或多个工具传感器响应与在校准期间从所述校准后的光学传感器推导出的校准后的光学传感器响应进行比较，由此检测一个或多个光学传感器异常。可利用一个或多个候选模型通过性能分析来评价所述一个或多个光学传感器异常，并且可选择替代候选模型以缓解所述一个或多个光学传感器异常。当所述替代候选模型未能缓解所述一个或多个光学传感器异常时，可寻求一个或多个补救选项。

主权项

1.一种用于光学计算装置诊断和处理的方法，包括：对工具执行验证测试，所述工具具有包括一个或多个光学元件的校准后的光学传感器，其中，执行所述验证测试包括：在用于在光学传感器校准期间对所述校准后光学传感器进行校准的一个或多个校准设置点处计算通过所述工具的多种参考流体；以及在所述一个或多个校准设置点处从每个光学元件的光学信道收集光学传感器响应，并藉此获得一个或多个工具传感器响应；获得所述一个或多个工具传感器响应并进行预处理；将所述一个或多个工具传感器响应与在所述光学传感器校准期间从所述校准后的光学传感器推导出的校准后的光学传感器响应进行比较，并且响应于所述一个或多个工具传感器响应与所述校准后光学传感器响应之间的差而检测一个或多个光学传感器异常；利用一个或多个候选模型通过性能分析来评价所述一个或多个光学传感器异常；以及选择替代候选模型以缓解所述一个或多个光学传感器异常。