[发明专利]用于产生真空的泵送系统及利用此泵送系统的泵送方法在审

专利信息
申请号: 201480082186.8 申请日: 2014-09-26
公开(公告)号: CN107002680A 公开(公告)日: 2017-08-01
发明(设计)人: D·穆勒;J-E·拉切尔;T·伊尔切夫 申请(专利权)人: 阿特利耶博世股份有限公司
主分类号: F04C25/02 分类号: F04C25/02;F04C28/02;F04C18/16
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司11285 代理人: 郑建晖,关丽丽
地址: 瑞士金*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 产生真空的泵送系统(SP),包含主要真空泵,该主要真空泵是具有气体抽吸入口(2)及气体排放出口(4)的干式螺杆型泵(3),该气体抽吸入口被连接至真空室(1),该气体排放出口在泵送系统的外部的气体排气出口(8)的方向上通向气体排空管道(5)中。该泵送系统包含止回阀(6)及辅助真空泵(7),该止回阀被定位在该气体排放出口(4)与该气体排气出口(8)之间,该辅助真空泵被并联连接至该止回阀。该主要真空泵(3)被启动,以便泵送真空室(1)中所含有的气体,及将这些气体排放通过它的气体排放出口(4),同时辅助真空泵(7)被启动。此外,辅助真空泵(7)在主要真空泵(3)泵送真空室(1)中所含有的气体的整个时间期间持续泵送,和/或在主要真空泵(3)维持真空室(1)中的一个限定的压力的整个时间期间持续泵送。
搜索关键词: 用于 产生 真空 系统 利用 方法
【主权项】:
用于产生真空的泵送系统(SP),该泵送系统包含主要真空泵,该主要真空泵是具有气体抽吸入口(2)及气体排放出口(4)的干式螺杆型泵(3),该气体抽吸入口(2)被连接至真空室(1),该气体排放出口(4)在该泵送系统的外部的气体排气出口(8)的方向上通向气体排空管道(5)中,该泵送系统的特征在于:该泵送系统包含:‑止回阀(6),被定位在该气体排放出口(4)与该气体排气出口(8)之间,及‑辅助真空泵(7),被并联连接至该止回阀。
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