[发明专利]三维表面电位分布测量装置

摘要

三维表面电位分布测量装置(70)具有激光源(13)、Pockels结晶(11)、镜、光检测器(16)、一边维持它们的相互的位置关系一边保持它们的保持构造(31)、能够将保持构造(31)三维地移动驱动的移动驱动部、保持试验对象物(8)而能够以试验对象物(8)的长边方向为轴进行旋转驱动的旋转驱动部(35)、以及对移动驱动部以及旋转驱动部(35)进行控制的驱动控制部(37)。驱动控制部(37)一边将Pockels结晶(11)的端面和试验对象物(8)的表面的间隔保持为规定的间隔，一边协调基于移动驱动部的保持构造(31)的移动驱动动作和基于旋转驱动部(35)的试验对象物(8)的旋转驱动动作，以使Pockels结晶(11)的端面接近试验对象物(8)的电场弛豫系统(3)的整个表面。

主权项

1.一种三维表面电位分布测量装置，对沿着试验对象物的长边方向实施的电场弛豫系统的表面电位进行测量，所述试验对象物模拟了旋转电机的定子线圈端部即定子线圈端，其特征在于，具备：激光源，射出激光；Pockels结晶，从第一端面被入射从所述激光源射出的所述激光；镜，其表面被设置在所述Pockels结晶的所述第一端面的相反侧的第二端面，将从所述Pockels结晶的所述第一端面入射的所述激光向与所述入射的方向相反的方向反射；光检测器，具有跟随逆变器脉冲电压的高频分量的频带，接受由所述镜反射的所述激光，检测与输出电压对应的所述激光的光强度，所述输出电压是所述Pockels结晶的所述第一端面和所述第二端面之间的电位差；保持构造，一边维持所述激光源、所述Pockels结晶、所述镜以及所述光检测器的相互的相对位置关系，一边保持所述激光源、所述Pockels结晶、所述镜以及所述光检测器；移动驱动部，能够将所述保持构造三维地移动驱动；旋转驱动部，保持所述试验对象物，能够以所述试验对象物的长边方向为轴而将所述试验对象物绕该轴向各旋转方向旋转驱动；以及驱动控制部，对所述移动驱动部以及所述旋转驱动部进行控制，所述驱动控制部一边将所述Pockels结晶的所述第二端面和所述试验对象物的表面的间隔保持为规定的间隔，一边协调基于所述移动驱动部的所述保持构造的移动驱动动作和基于所述旋转驱动部的所述试验对象物的旋转驱动动作，以使所述Pockels结晶的所述第二端面接近所述试验对象物的电场弛豫系统的整个表面。