[发明专利]三维表面电位分布测量装置有效
申请号: | 201480079588.2 | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN106461707B | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 古川真阳;牛渡广大;吉满哲夫;坪井雄一;日高邦彦;熊田亚纪子;池田久利 | 申请(专利权)人: | 东芝三菱电机产业系统株式会社;国立大学法人东京大学 |
主分类号: | G01R15/24 | 分类号: | G01R15/24;G01R19/00;G01R29/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 杨谦;胡建新 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 三维 表面 电位 分布 测量 装置 | ||
【说明书】:
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