[发明专利]用于有机材料的蒸发源有效
| 申请号： | 201480077386.4 | 申请日： | 2014-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN106133184B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | J·M·迭戈兹-坎波;S·邦格特;A·鲁普;U·舒斯勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 何焜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种用于在基板上沉积两种或更多种有机材料的蒸发源阵列。所述蒸发源阵列包括：两个或更多个蒸发坩锅，其中所述两个或更多个蒸发坩锅被配置成蒸发所述两种或更多种有机材料；两个或更多个分配管道，所述两个或更多个分配管道具有沿所述两个或更多个分配管的长度而提供的出口，其中所述两个或更多个分配管道中的第一分配管道与所述两个或更多个蒸发坩锅中的第一蒸发坩锅流体连通；两个或更多个热屏蔽件，所述两个或更多个热屏蔽件包围所述第一分配管道；冷却屏蔽布置，所述冷却屏蔽布置提供在所述两个或更多个分配管道的至少一侧，其中所述至少一侧是提供所述出口的那侧；以及冷却元件，所述冷却元件提供在所述冷却屏蔽布置处或中，用于对所述冷却屏蔽布置的主动冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 材料 蒸发 | ||
【主权项】：
一种用于在基板上沉积两种或更多种有机材料的蒸发源阵列，所述蒸发源阵列包括：两个或更多个蒸发坩锅，其中所述两个或更多个蒸发坩锅被配置成蒸发所述两种或更多种有机材料；两个或更多个分配管道，所述两个或更多个分配管道具有沿所述两个或更多个分配管道的长度而提供的多个出口，其中所述两个或更多个分配管道中的第一分配管道与所述两个或更多个蒸发坩锅中的第一蒸发坩锅流体连通；两个或更多个热屏蔽件，所述两个或更多个热屏蔽件包围所述第一分配管道；冷却屏蔽布置，所述冷却屏蔽布置提供在所述两个或更多个分配管道的至少一侧，其中所述至少一侧是提供所述多个出口的那侧；以及冷却元件，所述冷却元件提供在所述冷却屏蔽布置处或中，用于对所述冷却屏蔽布置的主动冷却。
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