[发明专利]扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 201480077349.3 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN106104278B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 平出雅人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q10/04 | 分类号： | G01Q10/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在扫描探针显微镜中设置有：试样移动单元(111、133)，其包括圆筒形的压电扫描器(111)，通过利用施加电压使压电扫描器(111)弯曲来使载置于该压电扫描器的上端面的试样(110)移动；扫描控制单元(132)，其通过控制所述施加电压来控制探针(114)与试样(110)的相对位置；试样厚度获取单元(138)，其获取试样(110)的厚度值；以及相关信息决定单元(139)，其使用所述厚度值来决定表示向压电扫描器(111)施加的施加电压与试样(110)表面在水平方向上的位移量之间的对应关系的相关信息，其中，扫描控制单元(132)使用所述相关信息来进行所述相对位置的控制。由此，能够进行考虑了试样(110)的厚度对XY方向上的移动量造成的影响的准确的试样扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种扫描探针显微镜，通过利用微小的探针对试样的表面进行扫描来检测试样表面的三维形貌，该扫描探针显微镜的特征在于，具有：a)试样移动单元，其包括圆筒形的压电扫描器，通过利用施加电压使所述压电扫描器弯曲来使载置于该压电扫描器的上端面的试样移动；b)扫描控制单元，其通过控制所述施加电压来控制所述探针与所述试样的相对位置；c)试样厚度获取单元，其获取所述试样的厚度值；以及d)相关信息决定单元，其使用所述试样的厚度值来决定表示向所述压电扫描器施加的施加电压与所述试样的表面在水平方向上的位移量之间的对应关系的相关信息，其中，所述扫描控制单元使用所述相关信息进行所述相对位置的控制。
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