[发明专利]用于测量线接合器的毛细管的振幅的装置

摘要

本发明涉及用于测量线接合器的毛细管的振幅的装置。所述毛细管被安放在光源与探测器机构之间，从而从由于所述毛细管而引起的射束的遮挡中能够确定所述振幅。由所述光源发射出的射束经历分离成测量射束和参考射束，其中，所述毛细管的边缘在振动的状态中至少部分地遮挡所述测量射束，而所述参考射束不经历遮挡。所述探测器机构包括配属于所述测量射束的测量探测器以及至少一个配属于所述参考射束的参考探测器；从所述测量探测器的和所述参考探测器的彼此联接的输出信号中能够确定所述毛细管的振幅。

主权项

1.用于测量线接合器的毛细管的振幅的装置，其中，所述毛细管被安放在光源与探测器机构之间并且从由于所述毛细管而引起的射束的遮挡中能够确定所述振幅，其特征在于，‑ 由所述光源（1；101）发射出的射束经历分离成测量射束（M）和参考射束（R），其中，所述毛细管（K）的边缘在振动的状态中至少部分遮挡所述测量射束（M），而所述参考射束（R）不受到遮挡，以及‑ 所述探测器机构包括配属于所述测量射束（M）的测量探测器（8.1；108.1）以及配属于所述参考射束（R）的至少一个参考探测器（8.2；108.2、108.3）并且从所述测量探测器（8.1；108.1）的和所述参考探测器（8.2；108.2、108.3）的彼此联接的输出信号（S_M、S_R）中能够确定所述毛细管（K）的振幅，第一成像光学系统沿着射线传播方向（Z）后置于所述光源（1；101），通过所述第一成像光学系统使所述光源（1；101）在所述测量射束（M）中和在所述参考射束（R）中进行成像到图像平面（B）中，在所述图像平面中所述毛细管（K）振动，在所述图像平面（B）与所述探测器机构之间布置有第二成像光学系统，通过所述第二成像光学系统将所述测量射束（M）和所述参考射束（R）进行聚焦到探测平面（D）中或者到隔板平面（E）中，相邻于所述探测平面（D）或者在所述隔板平面（E）中‑ 在所述测量射束（M）中布置有隔板开口（7.1；107.1），所述测量探测器（8.1；108.1）沿射线传播方向（Z）后置于所述隔板开口；以及‑ 在所述参考射束（R）中布置有隔板开口（7.2；107.2），所述至少一个参考探测器（8.2；108.2、108.3）沿射线传播方向（Z）后置于所述隔板开口。