[发明专利]用于制造微机械结构元件的方法在审
| 申请号： | 201480075314.6 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106458574A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | J·贡斯卡;J·赖因穆特;M·阿梅托沃布拉 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于制造微机械结构元件(100)的方法，该方法具有以下步骤：‑在结构元件(100)的MEMS元件(5)中或盖元件(6)中构造进入开口(7)；‑连接MEMS元件(5)与盖元件(6)，其中，在MEMS元件(5)和盖元件(6)之间构造至少一个空腔(8a、8b)；‑以及，借助于激光(9)在一个限定的气氛下封闭通到所述至少一个空腔(8a、8b)中的进入开口(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 微机 结构 元件 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造微机械结构元件(100)的方法，该方法具有以下步骤：‑在所述结构元件(100)的MEMS元件(5)中或盖元件(6)中构造进入开口(7)；‑将所述MEMS元件(5)与所述盖元件(6)连接，其中，在所述MEMS元件(5)和所述盖元件(6)之间构造至少一个空腔(8a、8b)；以及‑在限定的气氛下借助于激光(9)封闭通到所述至少一个空腔(8a、8b)的所述进入开口(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480075314.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
