[发明专利]掩模及其制造方法在审
| 申请号： | 201480067341.9 | 申请日： | 2014-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN105814232A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 水村通伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是在基板具有多个细长状的开口的掩模，具备在上述基板的单面侧与上述开口的长边方向交叉地形成为桥梁状，且比上述基板的厚度薄的多个加强部、和在位于上述加强部的侧方侧的开口周边的区域沿上述长边方向设置台阶而形成的挖掘部。由此，不增加掩模本身的厚度而使机械强度提高，并能够维持与该强度对应的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种掩模，是在基板具有多个细长状的开口的掩模，其特征在于，具备：多个加强部，在所述基板的单面侧与所述开口的长边方向交叉地形成为桥梁状，且比所述基板的厚度薄；以及挖掘部，在位于所述加强部的侧方侧的开口周边的区域沿所述长边方向设置台阶而形成。
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