[发明专利]用于显微镜的低试样绞手，制冷器和热流减速器

摘要

本发明涉及用于显微镜的低样本绞手和制冷器领域，以及包括所述绞手的显微镜。本发明涉及显微镜领域，具体涉及电子显微镜和聚焦离子束显微镜(EM和FIB)。然而，它的应用原则上可以扩展到显微镜的任何领域，尤其在样本被冷却或需要冷却的情况下。

主权项

用于提供机械和温度稳定性的低样本绞手(100)，允许迅速并可控的改变样本温度，其特征在于，所述绞手包括：(i)一内部区域(13b)和(ii)一外部区域(13a)，其中所述外部区域包括用于支撑所述内部区域的支撑件(43a,b,c)，并且其中所述支撑件为热绝缘材料，(iii)一连接所述内部区域的冷流稳定器(70)，(iv)一第一加热器(21)，用于维持所述内部区域在一个预定温度(T5)或加热所述内部区域至一个预定级别，其中所述第一加热器包括一能够监测温度的毫开尔文的变化的温度传感器(31)，软件和一热调节器(81)，以及(v)一第二加热器(22)，用于维持所述外部区域在一个预定温度(T1)，和一热流量减压器(97)，用于最小化从外部区域到一尖端的热流，其中所述第一加热器具有一个最大加热功率10瓦‑1千瓦，和/或所述第二加热器具有一个最大加热功率0.001瓦‑10瓦，其中为了维持在50毫开尔文的波动内的平均温度，所述热调节器用于通过改变第一加热器(21)提供的大量热量来抑制所述内部区域的温度波动。