[发明专利]离子束扫描器、离子布植机及控制点离子束的方法有效
| 申请号： | 201480063500.8 | 申请日： | 2014-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN105765692B | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 肯尼士·H·波什;克里斯多夫·坎贝尔;法兰克·辛克莱;罗伯特·C·林德柏格;约瑟·C·欧尔森 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨文娟,臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种离子束扫描器、离子布植机及控制点离子束的方法。离子束扫描器包含第一扫描平台，具有第一开口以传送离子束，第一扫描平台对应于第一振荡偏转信号以在第一开口内产生第一振荡偏转场；第二扫描平台，设置于第一扫描平台下游、并具有第二开口以传送离子束，第二扫描平台对应第二振荡偏转信号以在第二开口内产生方向与第一振荡偏转场相反的第二振荡偏转场；以及扫描控制器，当经扫描离子束离开定义共同聚焦点的第二扫描平台时，使第一振荡偏转信号和第二振荡偏转信号同步以产生多个离子轨迹。本申请技术方案能更容易地在带状束和点束模式中去操作束线离子布植机，且在切换操作模式时不需要大规模的重新配置。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 控制 平台 扫描器 | ||
【主权项】：
一种离子束扫描器，其特征在于，包括：双平台扫描系统包括第一扫描平台和第二扫描平台；所述第一扫描平台，具有第一开口以传送离子束，所述第一扫描平台对应第一振荡偏转信号以在所述第一开口内产生第一振荡偏转场；所述第二扫描平台，设置于所述第一扫描平台下游、并具有第二开口以传送离子束，所述第二扫描平台对应第二振荡偏转信号以在所述第二开口内产生方向与所述第一振荡偏转场相反的第二振荡偏转场；以及扫描控制器，当经扫描离子束离开定义共同聚焦点的所述第二扫描平台时，使所述第一振荡偏转信号和所述第二振荡偏转信号同步以产生多个离子轨迹；其中所述双平台扫描系统经配置以在点束模式和带状束模式中转换，在所述点束模式中所述扫描控制器输出所述第一振荡偏转信号和所述第二振荡偏转信号，而在所述带状束模式中所述扫描控制器未启动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦里安半导体设备公司，未经瓦里安半导体设备公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480063500.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
