[发明专利]用于选择性地检验部件侧壁的装置和方法

摘要

本发明涉及一种部件检验过程，其包括定位部件（例如，半导体部件或其它的物体），使得部件侧壁沿对应于侧壁分束器的光学路径设置，所述分束器被配置成用于接收由一组侧壁照明器提供的侧壁照明，以及朝着部件侧壁传递穿过其中的该侧壁照明，并且传递到部件侧壁。入射到部件侧壁的侧壁照明从部件侧壁朝着侧壁分束器被反射回，该侧壁分束器沿对应于用于侧壁图像捕捉的图像捕捉设备的光学路径反射或重新定向该反射的侧壁照明，从而允许部件侧壁检验。侧壁照明器和侧壁分束器可形成包括明视野照明器、暗视野照明器以及图像捕捉分束器的五个侧面检验装置的部分，使得五个侧面检验装置可被配置成用于以选择性的/可选择的方式检验部件底表面和/或部件侧壁。

主权项

1.一种被配置成用于检验包括部件侧壁的部件表面的装置，所述装置包括：一组侧壁照明器，其被配置成输入侧壁照明；一组侧壁分束器，其被配置成用于：(a)接收由所述的一组侧壁照明器输出的侧壁照明；(b)通过所述的一组侧壁分束器传递由所述的一组侧壁照明器输出的所述侧壁照明，使得当部件被定位在侧壁检验位置的侧壁检验区域内时，至少一些侧壁照明入射到部件侧壁上，在所述侧壁检验位置，所述部件侧壁隔断所述的一组侧壁分束器内的各个侧壁分束器之间的至少一些光学路径；(c)当部件被定位在所述侧壁检验位置时，接收从部件侧壁反射的侧壁照明；(d)沿对应于透镜组件和图像捕捉设备的光学路径重新定向所述反射的侧壁照明；以及处理单元，其被配置成用于选择性地激活以下两者中的一个或者两个(1)一个或一对相邻或相对的侧壁照明器，以在其他侧壁照明器未被激活时，捕获一个或一对相邻或相对的侧壁的图像，(2)侧壁照明器的独立中心波长或带宽照明，以用于捕获所选侧壁的单个图像，或同时捕获组件侧壁的多个侧壁的图像。