[发明专利]具有机械元件和用于驱动和/或检测该元件的移动的光滤波器的光学机械装置在审
| 申请号： | 201480058460.8 | 申请日： | 2014-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN105659126A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 劳伦特·杜拉福格;塞巴斯蒂安·海恩茨;迈克尔·L·洛克斯 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会;加利福尼亚技术学院 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/293;G01H9/00;G02B6/35 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 浦彩华;姚开丽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 根据本发明的装置包括：支撑件(30)，在所述支撑件上有：机械元件(34)的阵列(32)，所述机械元件锚定至所述支撑件并能够相对于所述支撑件移动，以及驱动和/或检测装置，所述驱动和/或检测装置用于驱动所述元件和/或检测所述元件的移动或所述移动的频率变化。根据本发明，所述驱动和/或检测装置包括光滤波器(42)的阵列。每个滤波器在特定波长处谐振，并耦合至所述元件(34)中的一个。所述驱动和/或检测装置在所述元件与所述支撑件之间定位在所有或一些的所述元件的附近。所述光滤波器相对于所述支撑件固定，并且所述机械元件和所述光滤波器是叠置的。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 机械 元件 用于 驱动 检测 移动 滤波器 光学 装置 | ||
【主权项】：
一种光学机械装置，包括：支撑件(30，150)，在所述支撑件(30，150)上有：机械元件(13，34)的阵列(32)，所述机械元件(13，34)锚定至所述支撑件并能够相对于所述支撑件移动，以及驱动和/或检测装置(40)，所述驱动和/或检测装置(40)用于驱动所述机械元件(13，34)和/或检测所述机械元件的移动或所述移动的频率变化，所述光学机械装置的特征在于，所述驱动和/或检测装置(40)包括光子回路，所述光子回路包含光滤波器(18，42，50)的阵列，所述光滤波器(18，42，50)的数量小于或等于所述机械元件(13，34)的数量，每个光滤波器在特定波长处谐振，并光耦合至所述机械元件中的一个以彼此独立地驱动所述机械元件和/或检测所述元件(13，34)的移动或所述移动的频率变化，所述驱动和/或检测装置(40)在所述机械元件(13，34)与所述支撑件(30，150)之间定位在所有或一些的所述机械元件(13，34)的附近，其中，所述光滤波器相对于所述支撑件固定，并且其中，所述机械元件(13，34)和所述光滤波器(18，42)是叠置的。
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