[发明专利]载体-衬底粘合系统有效
| 申请号： | 201480058147.4 | 申请日： | 2014-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN105636900B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | C.P.富斯托拉;H.I.史密斯;J.J.富斯托拉 | 申请（专利权）人： | 麻省理工学院 |
| 主分类号： | B82B1/00 | 分类号： | B82B1/00;B82Y40/00;B82B3/00 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;刘春元 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于产生三维纳米结构的系统和方法。该系统包括使用粘合剂结合到载体的衬底。粘合剂可以是可蒸发的或可升华的。载体可以是玻璃或类似玻璃的物质。在一些实施例中，载体可以是可渗透的，具有一个或多个孔，当利用热、压力、光或其他方法被转换成气态时粘合剂可以通过该孔排出。使用粘合剂将衬底结合到载体。然后该衬底被处理以形成膜。此处理可以包括研磨、抛光、蚀刻、图案化或其他步骤。然后将经处理的膜对准并且粘贴到接收衬底或先前沉积的膜。 | ||
| 搜索关键词： | 载体 衬底 粘合 系统 | ||
【主权项】：
1.一种产生三维纳米结构的方法，包括：/n使用可蒸发粘合剂将要被处理的衬底附着到载体；/n使所述衬底变薄并对所述衬底进行处理以形成膜；/n使所述载体和所述膜对准到接收衬底；/n使所述膜与所述接收衬底或者设置在所述接收衬底上的先前沉积的膜接触；以及/n增加温度或降低局部大气的压强以促使所述粘合剂蒸发，由此从所述载体释放所述膜。/n
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