[发明专利]真空室用软X线除静电装置有效
| 申请号： | 201480056055.2 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN105814974B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李东勋;郑容哲;金相孝;李寿永 | 申请（专利权）人： | 禅才高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/04 | 分类号： | H05F3/04;H01T23/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;王莹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种真空室用软X线除静电装置，其包括：高电压生成单元，产生用于生成软X线的高电压；软X线生成单元，通过上述高电压生成软X线并且朝外部发射；挠性连接单元，把上述高电压生成单元与上述软X线生成单元加以连接并且把上述高电压传递到上述软X线生成单元；及固定单元，安装在上述软X线生成单元并且固定于预设的安装对象。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 室用软 静电 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空室用软X线除静电装置，其特征在于，包括：高电压生成单元，可产生用于生成软X线的高电压；软X线生成单元，通过所述高电压生成软X线并且朝外部发射；挠性连接单元，把所述高电压生成单元与所述软X线生成单元加以连接并且把所述高电压传递到所述软X线生成单元；以及固定单元，包括在所述软X线生成单元的外周以所述软X线生成单元为中心具备一定直径地突出形成的固定件，及具备了在所述固定件上隔离地形成的多个固定孔、紧固在所述固定孔及固定在所述真空室外墙的多个紧固件的紧固部件，所述固定件和所述软X线生成单元的外周进行螺纹结合且固定于预设的真空室；其中，所述真空室形成有让所述软X线生成单元贯穿并插入的贯通孔，在所述贯通孔的内周还安装了贴紧所述软X线生成单元的外周并且用于维持所述真空室真空的硅质气密件，所述软X线生成单元以圆筒形状形成并且和所述贯通孔进行螺纹结合地被固定，所述软X线生成单元的端部突出于所述真空室的内部空间，所述固定单元沿着所述软X线生成单元改变固定位置。
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