[发明专利]真空室用软X线除静电装置有效
| 申请号： | 201480056055.2 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN105814974B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李东勋;郑容哲;金相孝;李寿永 | 申请（专利权）人： | 禅才高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/04 | 分类号： | H05F3/04;H01T23/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;王莹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 室用软 静电 装置 | ||
【权利要求书】：
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