[发明专利]应用电子束诱发等离子体探针以进行检验、测试、除错及表面修改在审
| 申请号： | 201480054629.2 | 申请日： | 2014-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN105793716A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 内达尔·沙利;丹尼尔·托特;安利奎·史特林;罗南·洛温格;斯里蓝·奎许那瓦米;艾利·葛雷瑟 | 申请（专利权）人： | 奥宝科技有限公司;飞腾动力公司 |
| 主分类号： | G01R31/308 | 分类号： | G01R31/308 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 齐杨 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明揭示一种电子束诱发等离子体，其用于与所关注装置建立非机械、电接触。此等离子体源可称为大气等离子体源且可经配置以提供具有极细直径及可控特性的等离子体柱。所述等离子体柱横穿在所述等离子体源之间的大气空间进入所述大气及所述所关注装置，且以可从所述装置收集特性电信号的方式充当到所述所关注装置的电路径。另外，通过控制流入所述等离子体柱的气体，探针可用于表面修改、蚀刻及沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 电子束 诱发 等离子体 探针 进行 检验 测试 除错 表面 修改 | ||
【主权项】：
一种大气等离子体设备，其包括：真空外壳，其在其第一侧处具有孔口；电子源，其经定位于所述真空外壳的内侧且具有电子提取开口；提取器，其定位于所述提取开口的附近，且经配置以提取来自所述电子源的电子以便形成电子束且将所述电子束引导穿过所述孔口，其中所述电子束经配置以具有小于所述孔口的直径的直径；盖，其经配置以允许所述电子束离开所述真空外壳，且，其中所述电子束经配置以在其离开所述真空外壳时离子化所述大气以便维持空间约束的等离子体柱或等离子体探针。
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