[发明专利]多组成材料结构的LIFT印刷有效

专利信息
申请号: 201480054603.8 申请日: 2014-10-07
公开(公告)号: CN105705671B 公开(公告)日: 2019-10-29
发明(设计)人: M·瑞欧;Z·寇特勒 申请(专利权)人: 奥宝科技股份有限公司
主分类号: C23C14/28 分类号: C23C14/28;H01L21/268;H05K3/12;B23K26/08
代理公司: 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 代理人: 郑玉洁
地址: 以色列雅*** 国省代码: 以色列;IL
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摘要: 一种用于材料沉积的方法包括:提供透明供体衬底(56、60),所述透明供体衬底具有相对的第一表面与第二表面以及位于所述第二表面上的多个供体膜(62、64),所述供体膜分别包含不同的材料。将所述供体衬底靠近受体衬底(41)定位,使所述第二表面面朝所述受体衬底。引导激光辐射的脉冲穿过所述供体衬底的所述第一表面并照射在所述供体膜上,以诱发熔融的小滴从所述供体膜喷至所述受体衬底上,所述熔融的小滴含有所述不同材料的整体混合物。
搜索关键词: 组成 材料 结构 lift 印刷
【主权项】:
1.一种用于材料沉积的方法,其特征在于,包括:提供透明供体衬底,所述透明供体衬底具有相对的第一表面与第二表面以及位于所述第二表面上的多个供体膜,所述供体膜分别包含不同的材料;将所述供体衬底靠近受体衬底定位,使所述第二表面面朝所述受体衬底;以及引导激光辐射的脉冲穿过所述供体衬底的所述第一表面并照射在所述供体膜上,以诱发熔融的小滴从所述供体膜喷至所述受体衬底上,所述熔融的小滴含有所述不同材料的整体混合物;其中,所述供体膜包括至少第一膜及第二膜,所述第一膜及所述第二膜分别包括不同的第一组分与第二组分,由此使所述熔融材料包括所述第一组分与所述第二组分的组合,且其中引导所述脉冲包括:选择位置,以控制所述熔融材料中所述第一组分及所述第二组分的相对比例。
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