[发明专利]多组成材料结构的LIFT印刷有效
申请号: | 201480054603.8 | 申请日: | 2014-10-07 |
公开(公告)号: | CN105705671B | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | M·瑞欧;Z·寇特勒 | 申请(专利权)人: | 奥宝科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/28 | 分类号: | C23C14/28;H01L21/268;H05K3/12;B23K26/08 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 郑玉洁 |
地址: | 以色列雅*** | 国省代码: | 以色列;IL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组成 材料 结构 lift 印刷 | ||
1.一种用于材料沉积的方法,其特征在于,包括:
提供透明供体衬底,所述透明供体衬底具有相对的第一表面与第二表面以及位于所述第二表面上的多个供体膜,所述供体膜分别包含不同的材料;
将所述供体衬底靠近受体衬底定位,使所述第二表面面朝所述受体衬底;以及
引导激光辐射的脉冲穿过所述供体衬底的所述第一表面并照射在所述供体膜上,以诱发熔融的小滴从所述供体膜喷至所述受体衬底上,所述熔融的小滴含有所述不同材料的整体混合物;
其中,所述供体膜包括至少第一膜及第二膜,所述第一膜及所述第二膜分别包括不同的第一组分与第二组分,由此使所述熔融材料包括所述第一组分与所述第二组分的组合,且其中引导所述脉冲包括:选择位置,以控制所述熔融材料中所述第一组分及所述第二组分的相对比例。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述多个供体膜中的至少一个具有在所述第二表面上变化的厚度。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述多个供体膜包括在所述第二表面上横向交错的至少第一膜与第二膜。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述供体膜中的至少两个具有不同的结构。
5.一种用于材料沉积的方法,其特征在于,包括:
提供透明供体衬底,所述透明供体衬底具有相对的第一表面与第二表面以及在所述第二表面上呈不均匀分布的多个供体膜;
将所述供体衬底靠近受体衬底定位,使所述第二表面面朝所述受体衬底;以及
引导激光辐射的脉冲穿过所述供体衬底的所述第一表面并照射在所述供体膜上根据所述不均匀分布而选择的位置处,以诱发熔融材料的小滴从所述供体膜喷至所述受体衬底上。
6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述供体膜包括至少第一膜及第二膜,所述第一膜及所述第二膜分别包括不同的第一组分与第二组分,由此使所述熔融材料包括所述第一组分与所述第二组分的组合,且其中引导所述脉冲包括:选择所述位置,以控制所述熔融材料中所述第一组分及所述第二组分的相对比例。
7.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,所述多个供体膜中的至少一个具有在所述第二表面上变化的厚度。
8.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,所述多个供体膜包括在所述第二表面上横向交错的至少第一膜与第二膜。
9.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,所述供体膜中的至少两个具有不同的结构。
10.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,所述供体膜中的至少两个具有不同的材料组成。
11.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,所述供体膜中的至少两个具有不同的厚度。
12.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,所述供体膜中的至少两个具有不同的形态结构。
13.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,包括:通过选择所述多个供体膜在所述供体衬底上的次序,控制在所述供体膜中吸收的激光能量的量。
14.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,包括:通过选择所述多个供体膜在所述供体衬底上的次序,控制所述熔融材料在所述受体衬底上的沉积速率。
15.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,所述供体膜中的至少一个包括复合基质。
16.如权利要求5或6所述的方法,其特征在于,包括:使所述供体膜中的至少一个带电,以在所述受体上形成驻极体。
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