[发明专利]用于监视切割过程的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于监视、尤其调节工件(3)上的切割过程的装置(1)，包括用于将高能射线(2)、尤其激光射线聚焦到工件(3)上的聚焦元件(4)；用于感测工件(3)上的待监视区域的图像感测机构(9)，待监视区域包括高能射线(2)与工件(3)的相互作用区域(18)；以及分析机构(19)，用于根据所感测的相互作用区域(18)获知切割过程的、尤其在切割过程中形成的切缝(16)的至少一个标志性特征参量(α)。图像感测机构(9)用于形成观察射线(7a)以从相对于高能射线(2)的射线轴线(13)成角度(β)地延伸的观察方向(R1)观察相互作用区域(14)并且可包括成像光具(14)用于从相对于高能射线(2)的射线轴线(13)成所述角度(β)地延伸的观察方向(R1)产生相互作用区域(18)的图像。分析机构(19)还可用于根据所感测的相互作用区域(18)获知切缝(16)的切割前方角度(α)和/或超过和/或低切缝(16)的预给定切割前方角度(αG)，以作为切割过程的标志性特征参量，并且，所述装置(1)可包括调节机构(20)用于通过影响切割过程的至少一个调节参数(v，P)来将切割前方角度(α)调节到预给定的恒定值(αG)。本发明还涉及对应的方法。

主权项

用于监视工件(3)上的切割过程的装置(1)，包括：用于将高能射线(2)聚焦到所述工件(3)上的聚焦元件(4)，用于感测所述工件(3)上的待监视区域(15)的图像感测机构(9)，所述待监视区域(15)包括所述高能射线(2)的与所述工件(3)的相互作用区域(18)，以及分析机构(19)，所述分析机构(19)构造成用于根据所感测的相互作用区域(18)获知切割过程的至少一个标志性特征参量(α)，其中，所述图像感测机构(9)构造成用于形成观察射线(7a)，所述观察射线用于从相对于所述高能射线(2)的射线轴线(13)成一角度(β)地延伸的观察方向(R1)观察所述相互作用区域(18)，并且所述图像感测机构(9)包括成像光具(14)以及探测器(12)，所述成像光具用于从相对于所述高能射线(2)的射线轴线(13)以所述角度(β)延伸的所述观察方向(R1)产生所述相互作用区域(18)的图像(B1)，所述探测器具有探测器面(12a)，所述图像(B1)在所述探测器面(12a)上产生，并且，所述成像光具(14)构造为用于将相对于所述聚焦元件(4)的中心轴线偏心走向并从而在所述聚焦元件(4)和所述工件(3)之间的会聚光路中相对于所述高能射线(2)的射线轴线(13)以所述角度(β)延伸的观察射线(7a)成像到所述探测器面(12a)上。