[发明专利]多层薄膜压电设备和制造该设备的方法

摘要

多层薄膜压电材料堆和结合该堆的设备。在实施方式中，中间材料层被设置在衬底的区域的至少部分中的两个连续压电材料层之间，在该衬底上设置有多层压电材料堆。中间材料可以提供堆内的一个或多个功能，包括但不限于引起连续压电材料层的一者或二者两端的电场，引起两个连续压电材料之间的微结构的不连续性，调制压电材料堆的累积应力，以及用作用于根据衬底上的位置改变电场强度的基础。

主权项

1.一种薄膜压电设备，包括：设置在衬底的第一区域上的下电极；设置在所述下电极上的第一压电层，该第一压电层具有第一极性；设置在所述第一压电层上的第二压电层，该第二压电层具有所述第一极性；设置在所述第一压电层和所述第二压电层之间的图案化中间层，其中所述图案化中间层位于所述第一压电层的第一部分上，其中所述图案化中间层包含开口，其中所述第二压电层沉积在所述第一压电层的第二部分上的所述开口内，其中所述开口不大于所述第一压电层和所述第二压电层之一的厚度，其中所述图案化中间层的组成与所述第一压电层和所述第二压电层的组成不同，其中所述图案化中间层包含面向所述第一压电层的第一金属层、面向所述第二压电层的第二金属层、以及位于所述第一金属层与所述第二金属层之间的第三金属层；以及设置在所述第二压电层的位于所述图案化中间层的所述开口内的部分上的上电极，所述图案化中间层用作根据在所述在衬底上的位置改变电场强度的基础。