[发明专利]制造用于EUV光刻法的掺杂钛的石英玻璃的方法和据此制成的坯料

摘要

存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti‑掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti‑掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2‑SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti‑掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率< 5 x 10‑4。

主权项

制造用于EUV光刻法的由高硅酸含量的掺杂钛的玻璃制成的坯料的方法，所述坯料在10毫米样品厚度下具有在400纳米至1000纳米波长范围内至少70%的内透射率，所述方法包括下列方法步骤：(a) 借助含硅和钛的起始物质的火焰水解制造TiO2‑SiO2灰料体，(b) 干燥所述灰料体以产生小于120重量ppm的平均羟基含量，(c) 将所述灰料体玻璃化，形成由高硅酸含量的掺杂钛的玻璃制成的坯料，其特征在于，在根据方法步骤(c)的玻璃化之前，对所述TiO2‑SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理，并且为了从灰料体中排出反应气体，在用氮氧化物调整处理之后和在根据方法步骤(c)的玻璃化之前在600℃至1000℃的温度范围内进行热处理。