[发明专利]计量学目标的极化测量及对应的目标设计有效
| 申请号： | 201480041321.4 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN105408721B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 依兰·阿米特;巴瑞·罗维斯凯;安德鲁·希尔;阿姆农·玛纳森;努里尔·阿米尔;弗拉基米尔·莱温斯基;罗伊·弗克维奇 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01N21/88;H01L21/66 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供目标、目标元件及目标设计方法，其包括将目标结构设计为具有相对于其在极化光中的背景的高于特定对比度阈值的高对比度，同时具有相对于其在非极化光中的背景的低于所述特定对比度阈值的低对比度。所述目标可具有装置特征级的细节且可与装置设计规则兼容，在结合极化照明测量时仍维持光学对比度且因此被有效用作计量学目标。同样提供设计变型及相应测量光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 计量学 目标 极化 测量 对应 设计 | ||
【主权项】：
1.一种形成计量学目标元件的方法，其包括：/n形成分段背景区域以包括第一分段方向及第一间距，及/n形成分段目标结构以包括垂直于所述第一分段方向的第二分段方向及第二间距，/n其中所述分段背景区域及所述分段目标结构经形成，以使得所述第一间距或所述第二间距中的至少一者在极化光中为所述分段目标结构提供相对于所述分段背景区域的第一对比度，及在非极化光中为所述分段目标结构提供相对于所述分段背景区域的第二对比度，其中所述第一对比度高于特定对比度阈值，且所述第二对比度低于所述特定对比度阈值，/n其中所述目标结构及所述背景区域在单个层中形成，/n其中所述分段目标结构的区域及所述分段背景区域的区域经组合以填充所述计量学目标元件的区域，/n其中所述分段目标结构的多个侧壁角指示沿着所述分段目标结构及所述分段背景区域之间的边界，在所述分段目标结构及所述分段背景区域之间测量的多个距离，其中所述多个侧壁角之间的变化指示所述计量学目标元件的一或多个特征。/n
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