[发明专利]用于干涉仪中的反射镜的运动的机构、包含该机构的干涉仪以及包含该机构的傅里叶变换光谱仪在审
| 申请号： | 201480037632.3 | 申请日： | 2014-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN105358932A | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | R·杰克逊 | 申请（专利权）人： | R·杰克逊 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种允许干涉仪的镜片的精确运动的机构，其包括具有高横向刚度的两个或多个膜片挠性件，创造了卓越性能的迈克尔逊干涉仪。当与反射镜表面的精确控制和参考激光相结合时，上述机构创造了卓越性能的傅里叶变换光谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 干涉仪 中的 反射 运动 机构 包含 以及 傅里叶变换 光谱仪 | ||
【主权项】：
一种迈克尔逊干涉仪，其包含：固定反射镜、分束器组件和可移动反射镜，可移动反射镜被安装在两个或更多的膜片挠性件上，膜片挠性件具有高横向刚度，以允许反射镜的运动；并且其中可移动反射镜受到闭环控制。
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