[发明专利]用于控制使用前馈调整的流量比控制器的方法及系统有效

专利信息
申请号: 201480036792.6 申请日: 2014-06-24
公开(公告)号: CN105340058B 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 麻里乌斯·格雷戈尔 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明公开一种处理装置,该处理装置确定多个初始的流量设定点命令,多个设定点命令的每一设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门,并发送多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令至多个阀门中的一相对应的阀门。处理装置针对于需要进行调整的流量状况来监控多个阀门。在检测到流量状况之后,处理装置基于先前的设定点来预测调整,并基于该预测的调整确定多个更新的流量设定点命令,所述多个更新的流量设定点命令的每一更新的流量设定点命令对应到所述多个阀门中的一个阀门。处理装置然后发送所述多个更新的设定点命令的每一更新的设定点命令至所述多个阀门的该相对应的阀门。
搜索关键词: 用于 控制 使用 调整 流量 控制器 方法 系统
【主权项】:
1.一种用于控制流量比控制器的方法,包含以下步骤:确定多个初始的设定点命令,所述多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门;发送所述多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令至所述多个阀门中的一个相对应的阀门;针对于需要进行调整的流量状况来监控所述多个阀门;在检测到所述流量状况之后,基于先前的设定点来预测所述调整;由处理装置基于所述预测的调整来确定多个更新的设定点命令,所述多个更新的设定点命令的每一更新的设定点命令对应到所述多个阀门中的一个阀门;及发送所述多个更新的设定点命令的每一更新的设定点命令至所述多个阀门的所述相对应的阀门,其中所述初始的设定点命令包含:阀门位置设定点,并且所述先前的设定点包含:在先前的稳定的流量状况期间所记录的多个存储的设定点。
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