[发明专利]自适应光学系统及其角度偏离检测方法和成像倍率检测方法有效
申请号: | 201480031945.8 | 申请日: | 2014-05-29 |
公开(公告)号: | CN105264346B | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 黄洪欣;井上卓 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G01M11/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦,王昊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种自适应光学系统的角度偏离检测方法,该自适应光学系统包括对入射至调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器;和从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器,其具有将多个透镜排列成二维状的透镜阵列以及对包含由上述透镜阵列形成的会聚光斑的光强度分布进行检测的光检测元件,该自适应光学系统基于根据上述光强度分布得到的上述光学像的波前形状对显示于上述空间光调制器的相位图案进行控制来补偿波前畸变,该自适应光学系统的角度偏离检测方法在该自适应光学系统中算出上述调制面和上述波前传感器的角度偏离量。 | ||
搜索关键词: | 自适应 光学系统 及其 角度 偏离 检测 方法 成像 倍率 | ||
【主权项】:
一种自适应光学系统的角度偏离检测方法,所述自适应光学系统包括:空间光调制器,其对入射至调制面上的光学像的相位进行空间调制;和从所述空间光调制器接收调制后的所述光学像的波前传感器,其具有将多个透镜排列成二维状的透镜阵列以及对包含由所述透镜阵列形成的会聚光斑的光强度分布进行检测的光检测元件,所述自适应光学系统基于根据所述光强度分布得到的所述光学像的波前形状对显示于所述空间光调制器上的相位图案进行控制来补偿波前畸变,所述自适应光学系统的角度偏离检测方法在该自适应光学系统中计算所述调制面和所述波前传感器的角度偏离量,其包括:光强度分布获取步骤,在使至少一个方向上具有线性的相位图案和空间上非线性的相位图案中的一者显示在与所述多个透镜中的一个或彼此邻接的两个以上的透镜分别对应的所述调制面上的第一区域和第二区域中,且使另一者显示在包围所述第一区域和所述第二区域的区域中的状态下,利用所述光检测元件获取所述光强度分布;和角度计算步骤,基于所述光强度分布获取步骤中得到的所述光强度分布所包含的、与所述第一区域对应的所述会聚光斑和与所述第二区域对应的所述会聚光斑的相对位置关系,求取所述调制面和所述波前传感器的角度偏离量。
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