[发明专利]离子阱装置和制造该离子阱装置的方法有效

专利信息
申请号: 201480026893.5 申请日: 2014-08-08
公开(公告)号: CN105308716B 公开(公告)日: 2017-01-25
发明(设计)人: 赵东日;金兑炫;尹钟建;崔炳斗;洪锡俊;李珉栽 申请(专利权)人: SK电信有限公司;首尔大学产学协力团
主分类号: H01J49/42 分类号: H01J49/42;H01J49/10
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 吕俊刚,刘久亮
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种离子阱装置包括基板,至少一个中心DC电极、RF电极和至少一个侧电极被设置在基板上方。中心DC电极包括DC连接器焊盘和连接至该DC连接器焊盘的DC轨。RF电极包括与DC轨相邻设置的至少一个RF轨以及连接至所述至少一个RF轨的RF焊盘。RF电极被设置在中心DC电极和侧电极之间。中心DC电极、RF电极和侧电极当中的至少一对电极具有彼此面对的圆角。
搜索关键词: 离子 装置 制造 方法
【主权项】:
一种离子阱装置,该离子阱装置包括:基板;至少一个中心DC电极,所述至少一个中心DC电极被设置在所述基板上方并且包括:DC连接器焊盘,和连接至所述DC连接器焊盘的DC轨;RF电极,所述RF电极被设置在所述基板上方并且包括:与所述DC轨相邻地设置的至少一个RF轨,和连接至所述至少一个RF轨的RF焊盘;以及至少一个侧电极,所述至少一个侧电极被设置在所述基板上方,其中,所述RF电极被设置在所述中心DC电极和所述侧电极之间,并且所述中心DC电极、所述RF电极和所述侧电极当中的至少一对电极具有彼此面对的圆角。
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