[发明专利]改进的压力传感器

摘要

一种微机电压力传感器结构，其中隔膜的长度是隔膜的宽度的至少三倍。长方形隔膜沿隔膜宽度经历在晶片的横向弯曲与隔膜的横向弯曲之间的最小差异。由于在垂直方向上隔膜为至少三倍长，因此，隔膜的弯曲形式与晶片的弯曲形式准确地对准。由此，由结构的弯曲所造成的总误差显著降低，并且更坚固的结构得以实现。同时，较长的隔膜提供了用于检测的更多挠曲区域并且因此显著提高了装置的灵敏度。

主权项

一种微机电压力传感器结构，所述微机电压力传感器结构包括主体结构和隔膜板，其中，所述主体结构包括平面基底和侧壁；第一表面基本上沿着所述平面基底延伸；所述侧壁作为周界从所述平面基底延伸出去；所述隔膜板沿着第二表面在所述侧壁上延伸；所述平面基底、所述侧壁和所述隔膜板彼此附接，使得所述第一表面、所述第二表面和所述侧壁的内表面形成在参考压力下的密闭间隙；所述侧壁的内表面的顶部边缘形成隔膜的周界，所述隔膜在所述第二表面的方向上具有长度和宽度，其中，所述长度是在所述隔膜的最长范围的方向上，并且所述宽度是在与所述第二表面的方向上的所述长度的方向垂直的方向上；所述压力传感器结构包括在所述第一表面上的固定电极和在所述第二表面上的隔膜电极，以用于对所述间隙上的电容的改变进行检测；所述隔膜的长度是所述隔膜的宽度的至少三倍。