[发明专利]透光性基板、有机LED元件、透光性基板的制造方法有效
申请号: | 201480025507.0 | 申请日: | 2014-04-11 |
公开(公告)号: | CN105189393B | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 真下尚洋;木原直人;前重和伸;藤原晃男;岸政洋;中村伸宏;礒部卫 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | C03C17/34 | 分类号: | C03C17/34;B32B17/06;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/26 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 刘多益;金明花 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种透光性基板,其特征在于,具有含有选自Bi、Ti、以及Sn的至少一种元素的玻璃基板、形成于该玻璃基板上的被覆层、形成于该被覆层上的透明导电膜,上述被覆层通过干式的成膜方法成膜。 | ||
搜索关键词: | 透光 性基板 有机 led 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种透光性基板,其特征在于,具有:含有选自Bi、Ti、以及Sn的至少一种元素的玻璃基板,和形成于该玻璃基板上的被覆层,和形成于该被覆层上的透明导电膜;所述被覆层通过干式的成膜方法成膜;所述被覆层的填充率为85%以上,所述填充率是通过使用X射线反射率测定器测定所述被覆膜的实测密度,该实测密度除以由所述被覆膜的组成算出的理论密度,将得到的值乘以100倍而算出的值;所述透明导电膜形成为靠近所述玻璃基板一侧比远离所述玻璃基板一侧的氧化程度高的状态。
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